Waferinspektion

Hohe optische Auflösung erforderlich (5 - 15µm/Px)
Hervorragende Bildqualität zur Erkennung von subpixelgroßen Defekten
Vielfältige Lichtverhältnisse erforderlich, um eine vielseitige Fehlererkennung zu ermöglichen
Anspruchsvolle Produktion durchgehend und Zykluszeit

15.360 Px hochauflösende Farb- und Mono-Zeilenkamera
Master-Slave-Synchronisation mehrerer Kameras für robusten Bildabgleich
Mehrkanaliger LED-Blitz für die Erfassung mehrerer Beleuchtungsbedingungen in einem Scan
Modularer Aufbau für unterschiedliche Wafergrößen
Perfekt fokussiertes Mehrkamerasystem für Defekte mit hohem Kontrast
5 MLux Beleuchtungsstärke
Wasserkühlung für Reinraumumgebung
RGB-LED für Beschichtungsinspektion über Interferenzeffekte
Hohe Leuchtdichte für Hellfeldaufbau
Kompakte Bauweise
Ultradünner Strahlenteiler im Koaxialmodul mit Antireflexionsbeschichtung für höchste Bildqualität

Kamera	Res/Pixel	FOV	Speed	Lens	Beleuchtung	Controller	Andere
CP000498-15K allPIXA wave 15k CL (2x)	10 µm	200 mm	145 mm/s	CC02242 inspec.x L 105mm f/5.6-0.5x (2x)	Dark field CP000200-1020C-04-5.0B1B Bright field (RGB) CP000200-C16-340H-RGB-0.5B0B Bright field (White) CP000200-CXT-340H-04-2.5B0B	CP000411-1F4 (2x)	CC02292 Focus Tube M95 inspec.x L 105 mm / 0.5x (2x)
CP000498-15K allPIXA wave 15k CL (3x)	10 µm	300 mm	145 mm/s	CC02242 inspec.x L 105mm f/5.6-0.5x (3x)	Dark field CP000200-C11-275A-04-5.0B1H Bright field (RGB) Bright field (White) CP000200-CXT-510H-04-2.5B0B	CP000411-1F4 (3x)	CC02292 Focus Tube M95 inspec.x L 105 mm / 0.5x (3x)
CP000498-15K allPIXA wave 15k CL (4x)	10 µm	450 mm	145 mm/s	CC02242 inspec.x L 105mm f/5.6-0.5x (4x)	Dark field CP000200-C11-500A-04-5.0B1H Bright field (RGB) CP000200-C16-680H-RGB-0.5B0B Bright field (White) CP000200-CXT-680H-04-2.5B0B	CP000411-1F4 (4x)	CC02292 Focus Tube M95 inspec.x L 105 mm / 0.5x (4x)